시안(西安)이공대학과 시안리스웨이 실리콘 웨이퍼기술유한공사가 공동 개발한 국내 최초의 차세대 대형 집적회로 단결정 실리콘 성장설비가 최근 시안에서 한 차례 시험생산에 성공했다.

대형 반도체 단결정 실리콘 소재는 우리나라 집적회로 산업의 발전을 제약하는 ‘장애물’인 것으로 알려져 있다. 이 분야에서 돌파를 이룬 것은 중국의 집적회로 산업을 만족시키는데 의의가 있다.

2018년부터 시안이공대 류딩 교수팀은 시안 이우스웨이 실리콘 웨이퍼 기술유한공사와 긴밀히 협력해 지름 300㎜, 길이 2100㎜의 고품질 단결정 실리콘 소재 개발에 성공했다. 이를 통해 국산 장비를 자체 개발, 크기를 끌어올리고 고품질의 집적회로급 실리콘 단결정재를 만드는 돌파를 이뤄냈다.

출처 – <경제일보>(중국) 2020년12월25일자. 번역 김정호

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